晶圓測試高低溫真空探針臺

產(chǎn)品型號：HCVP系列

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-13

產(chǎn)品簡介：

華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺通過高真空環(huán)境、電學(xué)測量和多功能集成設(shè)計為芯片、晶圓、傳感器等微納器件的性能測試提供了穩(wěn)定的解決方案。

產(chǎn)品特性Product characteristics

品牌	華測

華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺

價格僅供參考，如需獲取更詳盡的產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書、定制方案或應(yīng)用案例，歡迎致電我司技術(shù)工程師

HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺由華測儀器生產(chǎn)，是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置，接下來通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測點(diǎn)，從而使其訊,號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品參數(shù)

腔體

樣品臺尺寸：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探針臂接口：至多6個探針臂接口

其它接口：信號接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷機(jī)

控制方式：開循環(huán)手動 / 閉循環(huán)自動控制

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K~450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K